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  • Ag迁移致集成电路输出异常失效分析
    1#
    • meixinjiance
    • 2015-03-18
    1.案例背景
      某功能模块在用户端出现功能失效,经返厂检修,发现该模块上的一片IC输出异常,经更换IC后,功能模块恢复正常。

    2.分析方法简述
      对样品进行外观观察,未发现明显异常。

    [img=620,450]http://www.mttlab.net/pic/images/15/15-1-16-%EF%BC%881%EF%BC%89.jpg[/img]

    经X-RAY无损检测,未发现明显异常。



    [img=620,184]http://www.mttlab.net/pic/images/15/15-1-16-%EF%BC%882%EF%BC%89(1).jpg[/img]



    通过C-SAM扫描发现了IC内部存在分层现象。



    [img=491,276]http://www.mttlab.net/pic/images/15/15-1-16-%EF%BC%883%EF%BC%89.jpg[/img]



    图5.NG样品C-SAM图片



      通过IV曲线测试,发现引脚间存在漏电通道。

    [img=418,255]http://www.mttlab.net/pic/images/15/15-1-16-%EF%BC%884%EF%BC%89.jpg[/img]



    图6.NG样品IV曲线图




    DE-CAP后,利用SEM/EDS进行分析,确认了引脚间存在银迁移问题。

    [img=620,401]http://www.mttlab.net/pic/images/15/15-1-16-%EF%BC%885%EF%BC%89.jpg[/img]

    表1.开封后的NG样品内部EDS测试结果(Wt%)

    [img=620,96]http://www.mttlab.net/pic/images/15/15-1-16-%EF%BC%886%EF%BC%89.jpg[/img]

    3.结论


    IC内部存在分层,由于水汽的入侵,加上集成电路各引脚之间存在电位差,导致了引脚间的银迁移,从而在引脚间形成微导通电路,致IC输出异常。



    4.参考标准

    GJB 548B-2005 微电子器件失效分析程序-方法5003。


    IPC-TM-650 2.1.1-2004手动微切片法。


    GB/T 17359-2012 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则。






  • 2#
    • 84362020gwh
    • 2015-03-18
    这是做什么的
  • 3#
    • 84362020gwh
    • 2015-03-25
    快来看看了
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